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JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設置和測試微焦 X 射線系統的光刻生產的測試模式。它支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率，對應于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應用于硅載體
JIMA RT RC-04分辨率測試卡特點：
每個測試圖案由 8 條線組成，T 形布局
吸收材料：鎢，厚度>=650nm
保護膜：PET膜25μm（含粘合劑）
硅基：15 µm +/- 1 µm（厚度）
外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深）
芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深）
精度模式： 公差： +/- 10%
適用范圍工作溫度：10°C至70°C
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